SYproAUTO是全自動(dòng)的冷卻風(fēng)環(huán),整個(gè)風(fēng)環(huán)北分割成多個(gè)風(fēng)室。每個(gè)風(fēng)室的閥門開(kāi)關(guān)都由步進(jìn)馬達(dá)控制。
SYpro AUTO自動(dòng)風(fēng)環(huán)與監(jiān)控軟件連為一體。它可以根據(jù)測(cè)厚系統(tǒng)提供的測(cè)量資料進(jìn)行調(diào)整。當(dāng)厚度比設(shè)定值偏高時(shí),步進(jìn)馬達(dá)進(jìn)入相應(yīng)部分的氣流來(lái)降低薄膜厚度。同樣,當(dāng)厚度比設(shè)定值偏低時(shí),步進(jìn)馬達(dá)會(huì)增加進(jìn)入相應(yīng)部分的氣流來(lái)增加薄膜的厚度。